西安交大研制的耐高溫壓力傳感器能在-30℃～250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測(cè)量，可完成1000Mpa以下任意量程范圍的壓力測(cè)量，能承受2000℃瞬時(shí)高溫沖擊?？蓾M足高溫、高壓、高頻響及瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)……

一種可抗2000℃瞬時(shí)超高溫沖擊的硅隔離耐高溫壓力日前在西安交大精密工程研究所研制成功。專家認(rèn)為，這一國(guó)家"863"計(jì)劃項(xiàng)目的完成，能夠解決我國(guó)多領(lǐng)域的技術(shù)難題。

新型壓力傳感器的問(wèn)世，將有效解決我國(guó)航空航天、石油化工、汽車工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下，壓力測(cè)量和瞬時(shí)高溫沖擊下傳感器失效的技術(shù)難題，打破了國(guó)外同類產(chǎn)品對(duì)我國(guó)傳感器市場(chǎng)的壟斷，提升了我國(guó)這一行業(yè)的整體水平和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)能力，具有很高的推廣和使用價(jià)值。

常規(guī)的硅壓力傳感器只能120℃以下進(jìn)行壓力測(cè)量，超過(guò)120℃時(shí)，傳感器的性能會(huì)嚴(yán)重惡化以至失效。常規(guī)的測(cè)量方法和手段不能滿足高溫等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量和自動(dòng)化領(lǐng)域越來(lái)越高的測(cè)量精度要求，致使我國(guó)高溫壓力傳感器產(chǎn)品長(zhǎng)期以來(lái)主要依賴進(jìn)口。

西安交大研制的耐高溫壓力傳感器能在-30℃～250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測(cè)量，可完成1000Mpa以下任意量程范圍的壓力測(cè)量，能承受2000℃瞬時(shí)高溫沖擊?？蓾M足高溫、高壓、高頻響及瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在此領(lǐng)域的多項(xiàng)空白，對(duì)于推動(dòng)我國(guó)儀器儀表工業(yè)的發(fā)展，培養(yǎng)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)具有重要意義。 

西安交大精密工程與光學(xué)測(cè)試技術(shù)研究所于2009年由原精密工程研究所和激光紅外應(yīng)用研究所合并而成。主要研究方向包括：MEMS與微納制造技術(shù)、納米測(cè)量技術(shù)與精密儀器、傳感器技術(shù)、智能型光電檢測(cè)技術(shù)及儀器、數(shù)控與精密超精密加工技術(shù)、機(jī)器人視覺和反求工程技術(shù)、生物儀器與測(cè)試技術(shù)、智能型光電檢測(cè)技術(shù)及儀器，光學(xué)無(wú)損檢測(cè)，三維形貌測(cè)量，光纖檢測(cè)技術(shù)，光學(xué)圖像信息處理，電子和數(shù)控技術(shù)，機(jī)器人視覺和反求工程技術(shù)等。該所是機(jī)械工程和儀器科學(xué)與技術(shù)兩個(gè)一級(jí)學(xué)科博士學(xué)位授權(quán)點(diǎn)和博士后流動(dòng)站。

研究所已培養(yǎng)畢業(yè)博士50余人，碩士160余人?，F(xiàn)在讀博士后及博士生50余人，碩士生100余人。 該所承擔(dān)著國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展規(guī)劃（973計(jì)劃）項(xiàng)目、國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃（863）重點(diǎn)項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目、國(guó)防科工委國(guó)防項(xiàng)目、教育部重點(diǎn)科技項(xiàng)目、陜西省及西安市重大科技攻關(guān)項(xiàng)目以及航空航天部國(guó)家及省部委科研項(xiàng)目數(shù)十項(xiàng)。發(fā)表論文600多篇，其中SCI、EI、ISTP收錄300多篇。相關(guān)技術(shù)獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)和科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)4項(xiàng)、省部科技進(jìn)步獎(jiǎng)10余項(xiàng)。獲得國(guó)家授權(quán)發(fā)明專利等60余項(xiàng)、軟件著作權(quán)20余項(xiàng)。

該所與美國(guó)、英國(guó)、澳大利亞、日本、韓國(guó)、新加坡以及國(guó)內(nèi)的相關(guān)高校和科研機(jī)構(gòu)開展了多方面的學(xué)術(shù)交流與合作，每年有數(shù)十人次參加國(guó)內(nèi)外的學(xué)術(shù)會(huì)議和訪問(wèn)學(xué)者計(jì)劃。